Proces stosowania cienkich warstw metalicznych jest ważną częścią przemysłu półprzewodników i magnetyzm . Te dwa główne typy przetwarzania obejmują wzrost folii metalowych i wytrawiania folii metalowych . Wzrost obejmuje osadzanie metalu według sposobu , takiego jak odparowanie lub rozpylanie katodowe . Trawienienaprzeciwko i obejmują selektywne usuwanie materiału ekspozycją na pewną chemiczną lub bombardowanie materiału o zjonizowanych cząsteczek gazu. Akwaforta
Trawienie jestselektywne usuwanie materiału . Istnieją dwa główne sposoby Etch materiału . Trawienie chemiczne są często stosowane w celu selektywnego usunięcia pewnego materiału , podczas gdy pozostałe obszary próbki nienaruszone. Przykładem jeststosowanie kwasu fluorowodorowego do selektywnego usuwania dwutlenku krzemu. Drugim sposobem wytrawiania jest umieszczenie próbki w komorze próżniowej , a następnie wprowadzenia gazu, takiego jak argon . Argon zostaje zjonizowane przez zestaw elektrod i przyspieszona przeciwko próbie. Jony bombardować próbkę i usunięcia materiału . Ponieważ wszystkie części próbki są bombardowani , to nie jestselektywne trawienie , a wszystkie powierzchnie narażone będą mieli materiał usunięto .
Zmniejszenie Metal Grubość
Odsłanianie żadnych metalowych próbka do etch spowoduje zmniejszenie grubości z próbki . Jest to częstopożądany wynik etch . W celu usunięcia pewnej ilości materiału ,metalu musi być wystawiona na działanie etch na określony czas , na przykład jedna minuta. Grubość następnie musi być mierzone w celu uzyskania stopy trawieniem , takie jak 10 nanometrów na sekundę . Imperium Film chropowatości
Chociażcel z trawieniem jest zmniejszenie grubości blachy , to zwykle jest w cenie . Metaliczna folia szorstkość może byćbardzo ważne ilości i zazwyczaj mierzy się za pomocą urządzenia o nazwiemikroskop sił atomowych . Na ogół,dłuższemateriał wytrawionewiększąszorstkość folii metalicznej się . Łódź
uziarnieniu
folie metalowe składają się z wielu milionów drobnych ziaren, które są typowo Zakres wielkości od 5 do 100 nanometrów. Jako folie metalowe są wytrawioneśredniej wielkości uziarnienia może być zmniejszona, ale jest silnie uzależniona od rodzaju trawienia czasie trawienia i wytrawiania energii , jeśli jestwytrawiania jonów .